项目来源

韩（略）科（略）

项目主持人

김（略）

项目受资助机构

포（略）대（略）학（略）

项目编号

1（略）1（略）3（略）

立项年度

2（略）

立项时间

未（略）

研究期限

未（略） （略）

项目级别

国（略）

受资助金额

4（略）4（略）.（略）元

学科

未（略）

学科代码

未（略）

基金类别

연（略）공（略）지（略）

关键词

未（略）

参与者

未（略）

参与机构

未（略）

项目标书摘要：연구（略）도 센서의 종류는（略）체나 환경에 직접（略）정하는 접촉 방식（略）서 방사되는 적외（略）비접촉 방식의 센（略）비접촉 방식 센서（略）thermopil（略）ric,micro（略） 분류된다.mic（略） 기술을 이용한 （略）다른 비접촉방식의（略） 감지도를 가지며（略）점을 가지고 있다（略）패키지 기술을 이（略）작이 가능하고,제（略）있는 장점이 있다（略）,저가격화로 제작（略） 다양한 응용분야（略） 목적을 둔다. （略）적외선 센서를 제（略）실이 적고 열용량（略） 픽셀 설계를 해（略） 보다 정밀한 미（略）MEMS 기술을 （略）세 구조물 제작을（略）thography（略） 기술 뿐만아니라（略）제거하는 공정을 （略）S 기술로 제작되（略）정한 성능으로 제（略） 해상도 구현이 （略）,저응력의 질화규（略） 증착 및 식각이（略）ICP etch （略）또한 구조물의 정（略）사전자현미경,집속（略）비를 활용해야 한（略）기의 장비를 사용（略）가공이 가능하고,（略）로 박막의 증착과（略）화 할 수 있다.（略）적외선 센서를 재（略）능하다.또한 고성（略）로하는 장비를 사（略）일한 pixel （略）제작 할 수 있다（略） 인체감지 및 온（略）제품에 적용할 수（略）외에 array （略）를 전체적 또는 （略） 온도측정이 가능（略） 화재가 발생하였（略）통해 화재 위험성（略）도 있는 등 다양（略） 가능하다.