项目来源

韩（略）科（略）

项目主持人

윤（略）

项目受资助机构

에（略）이

项目编号

1（略）0（略）0（略）

立项年度

2（略）

立项时间

未（略）

研究期限

未（略） （略）

项目级别

国（略）

受资助金额

1（略）0（略）0（略）韩（略）

学科

未（略）

学科代码

未（略）

基金类别

중（略）상（略）술（略）

关键词

未（略）

参与者

未（略）

参与机构

未（略）

项目标书摘要：연구（略）.기술 개발 목표（略）목표:기준:60~（略）판,Metal+S（略）1)검출 신뢰도:（略）미만(기준:미검출（略）출 10%미만(기（略）검사수)2)생산성（略）30초 이내 3)（略）판 제조업체의 불（略）나.목표 및 개발（略）에서 평가 완료하（略）표로 함.개발 내（略）1.검사 알고리즘（略）미지의 고속 영상（略）도로 검사를 하기（略）미지 크기가 대략（略）그런데,실시간으로（略）는 양산 환경에서（略） 작용한다.하나의（略）을 FOV라고 하（略）인 한계로 FOV（略）다.이렇게 한 번（略）역을 볼 수 없기（略）여러 번 나누어 （略） 검사 시    （略）/초에 연산처리 （略）리즘을 개발하여 （略）웨이퍼원판 자동 （略）할 수 있다.참고（略）사의 알고리즘 처（略） 수준 이며,폐사（略）은 100MB/초（略）B/초 처리성능은（略）다.따라서 이 정（略） 개발한다면,광학（略）인 KLA-Ten（略）lph Techn（略）