项目来源

国（略）科（略）(（略）C（略）

项目主持人

黄（略）

项目受资助机构

中（略）院（略）学（略）械（略）

项目编号

6（略）8（略）

立项年度

1（略）

立项时间

未（略）

研究期限

未（略） （略）

项目级别

国（略）

受资助金额

1（略）0（略）

学科

信（略）-（略）光（略）-（略）光（略）料

学科代码

F（略）5（略）5（略）

基金类别

面（略）

关键词

半（略）光（略）2（略）光（略）

参与者

路（略）王（略）袁（略）蒋（略）沈（略）杜（略）

参与机构

中（略）院（略）学（略）械（略）

项目标书摘要：利用（略）准分子激光和全反射（略）现亚半微米光刻分辩（略）变成像方式及缩短曝（略）纪初的４兆位半导体（略）力，从而大大降低该（略），本研究也是光学光（略）

项目受资助省

上（略）