소형 나노 모션 플랫폼의 댐핑 계획 근사 시간 최적 제어 기법 연구项目来源韩国国家科技基金项目主持人정재화项目受资助机构고려대학교 산학협력단立项年度2011立项时间未公开项目编号1345156278项目级别国家级研究期限未知 / 未知受资助金额52500000.00韩元学科未公开学科代码未公开基金类别일반연구자지원关键词未公开参与者未公开参与机构未公开项目标书摘要:소형 초정밀 모션 플랫폼은 전자기력을 이용한 보이스 코일 모터를 이용하며, 가이드 시스템으로서 판스프링형의 유연기구를 적용한다. 보이스 코일 모터와 유연기구는 백래쉬, 히스테리시스, 마찰, 비선형성 등이 없어 나노급 정밀도를 구현하기에 적합하다. 최적설계 기법을 이용하여 모션 플랫폼의 응답대역, 즉 속도를 최대화하도록 스테이지를 설계한다. 또한 capaci...排序方式: 时间 相关性显示方式: 列表 摘要0/排序方式: 时间 相关性显示方式: 列表 摘要0/