项目来源

德（略）基（略）F（略）

项目主持人

A（略）e（略）e（略）h

项目受资助机构

R（略）n（略）h（略）s（略）l（略）h（略）e（略）i（略）e（略）c（略）h（略） （略）h（略）I（略）i（略） （略） （略）k（略）f（略）d（略）E（略）t（略）e（略）i（略）;（略）h（略）u（略）f（略）a（略）w（略）t（略）i（略）n（略）a（略）n（略）n（略）n（略）k（略）ä（略）ü（略）n（略）a（略）e（略）t（略）i（略）n（略）a（略）n（略）d（略）c（略）r（略）k（略）s（略）s（略）e（略）n（略）i（略）-（略） （略）o（略）h（略）;（略）h（略）c（略）U（略）e（略）t（略）D（略）d（略）I（略）i（略） （略） （略）b（略）t（略）u（略）M（略）o（略）t（略）e（略）i（略）

立项年度

2（略）

立项时间

未（略）

项目编号

4（略）4（略）1

项目级别

国（略）

研究期限

未（略） （略）

受资助金额

0（略）欧（略）

学科

E（略）t（略）i（略）e（略）o（略）c（略）s（略）m（略）e（略） （略） （略）c（略）s（略）t（略）a（略） （略）t（略）,（略）s（略）T（略）n（略）g（略）h（略）e（略）a（略）l（略）r（略）l（略）g（略）e（略）g（略）n（略）s（略）a（略）P（略）e（略）e（略）f（略）n（略）o（略） （略）e（略）l（略）

学科代码

未（略）

基金类别

R（略）a（略） （略）n（略）

关键词

未（略）

参与者

T（略）a（略）i（略）a（略）k

参与机构

未（略）

项目标书摘要：Th（略）electric （略）stem base（略）m oxide(H（略）covered i（略）h is char（略）y high re（略）rization （略）lectric c（略） is also （略）nd silico（略）e.However（略）se advant（略）erties ha（略）een reali（略） thin lay（略） around 1（略）18 comple（略）ject INFE（略）gated the（略） of thin,（略）films for（略）of dopant（略）afnium-zi（略）acterized（略）al proper（略）lculated （略）ergies wi（略）functiona（略） understa（略）tionship （略）ulations （略）ental obs（略）verall,th（略）as aimed （略）ing the f（略） of mater（略）vel elect（略）es.The pi（略） and pyro（略）operties （略）terials h（略）und to be（略）but were （略）tically s（略） proposal（略）o extend （略）gation of（略） layers t（略）d doped l（略）o produce（略）yers on t（略） 1 μm.CSD（略）D,both fr（略）and metal（略）,are chos（略）eposition（略）study the（略）defects.T（略） on the c（略） dielectr（略）ctric and（略）ic proper（略）can be gi（略）d-driven （略）itions an（略）articular（略）formance （略） project （略）s the ori（略） dielectr（略）ctric and（略）ic proper（略）zes the p（略）nd determ（略）rformance（略） sensor a（略） devices （略）actors,th（略）ustic res（略）ARs),and （略）For the r（略）of these （略）ck layers（略）er of 1 µ（略）red.In pa（略）e ferroel（略）e is to b（略）d in thes（略）ers or su（略）field-dri（略）erature-d（略）sses.Acco（略）evious un（略）,this pha（略）ted by in（略）nergy,oxy（略）es,but in（略）by metast（略）.In addit（略）rtant goa（略）vestigati（略）tter unde（略）control t（略） of phase（略）and stabi（略） the theo（略）e,it is p（略）erform a （略）ey,an ana（略）e kinetic（略）ase trans（略）ell as th（略）on of pie（略）electric （略）in compar（略）xperiment（略）