엑시머 레이저 어닐을 이용한 자기정렬 SiC MOSFET 제작
项目来源
韩(略)科(略)
项目主持人
이(略)
项目受资助机构
충(略)교
财政年度
2(略),(略)4
立项时间
未(略)
项目编号
1(略)0(略)5(略)
项目级别
国(略)
研究期限
未(略) (略)
受资助金额
4(略)0(略).(略)元
学科
未(略)
学科代码
未(略)
基金类别
지(略)우(略)자(略)
关键词
未(略)
参与者
未(略)
参与机构
未(略)
项目标书摘要:연구(略)시머 레이저 어닐(略)SiC MOSFE(略) 엑시머 레이저 (略)렬 SiC MOS(略) 엑시머 레이(略)기정렬 SiC M(略)
- (略)