차세대 고밀도/고효율 플라즈마 소스 개발 및 전자 동역학 연구
项目来源
韩(略)科(略)
项目主持人
김(略)
项目受资助机构
한(略)
项目编号
1(略)3(略)9(略)
财政年度
2(略),(略)2(略)2(略)
立项时间
未(略)
研究期限
未(略) (略)
项目级别
国(略)
受资助金额
1(略)0(略)0(略)韩(略)
学科
未(略)
学科代码
未(略)
基金类别
이(略)술(略)반(略)R(略)
关键词
未(略)
参与者
未(略)
参与机构
未(略)
项目标书摘要:연구(略)차 년도:ICP에(略)스 개발 및 플라(略)구1)고밀도/고효(略))플라즈마 전자 (略)(center t(略)보->원천 기술,(略)차 년도:CCP에(略)스 개발 및 대칭(略)구1)고밀도/고효(略)2)대칭성 플라즈(略)WPT 기술의 응(略)원천 기술,논문 (略) ● 1차 (略)도/고효율 소스 (略)자 동역학 연구1(略)P 소스연구-.전(略)한 MRWPT I(略)화-.MRWPT (略)즈마 방전 메커니(略)0^10 cm-3(略)달 달성(>90%(略)동역학 연구-.개(略)P 소스에서 no(略)al kineti(略)동 연구-.임의의(略)Saddle,an(略)c 분포로 제어-(略)균일도 제어 규명(略)r to edge(略)ter to ed(略)%확보-.국부적 (略) 및 해결 방안 (略)CP에서 고밀도/(略) 대칭성 플라즈마(略)/고효율 CCP (略)시뮬레이션을 통한(略)소스 구조 최적화(略) 개발 및 플라즈(略)명-.고밀도(10(略)저압(90%)확보(略)생성 연구-.CC(略)이에 발생되는 플(略)인 규명 및 데이(略)trical dr(略) 확보 3)MRW(略) 심화 연구-.본(略)라즈마 소스를 이(略)공정 중 하나인 (略)정을 통해 Ash(略)r to edge(略) 개발된 기술을 (略) (1(略)안테나 구조(st(略)라즈마 장비의 변(略)WPT syste(略)구를 적용할 수 (略)용으로 장비 제작(略)CP 모두 같은 (略)-낮은 전력으로도(略) 효율을 만들 수(略) 전력발생기 대비(略)라 투자로 발생하(略).-플라즈마 소스(略)분 수입(미국과 (略)라즈마 장비를 수(略) 수 있음.(2)(略)즈마 소스 관련 (略),논문 등)확보를(略)역량을 향상 시킬(略) 디스플레이 산업(略)가능함.(3)사회(略)마 소스는 해외 (略)의존 하고 있기 (略) 통해 국내 장비(略)경쟁력 및 국가 (略).-플라즈마 소스(略)업종 신규 고용 (略)
- (略)