项目来源

韩（略）科（略）

项目主持人

신（略）

项目受资助机构

한（略）교（略）협（略）

项目编号

1（略）0（略）4（略）

立项年度

2（略）

立项时间

未（略）

研究期限

未（略） （略）

项目级别

国（略）

受资助金额

8（略）3（略）.（略）元

学科

未（略）

学科代码

未（略）

基金类别

산（略）력（略）발

关键词

未（略）

参与者

未（略）

参与机构

未（略）

项目标书摘要：연구（略）존의 Granit（略） 에어베어링 시스（略） 위해 복합소재 （略）체형 나노급 모션（略）반도체 공정의 고（略）ay의 고해상도화（略）는 장비의 모션 （略） 정밀도를 필요로（略）생산성 달성을 위（略） 요구도 점점 높（略）    경량/고강（略） 가이드 및 에어（略）e-Vacuum)（略）한다.고성능 Ac（略） 제어시스템과의 （略）노급 모션 시스템（略）합소재 기반의 가（略）구조 최적화 및 （略）유동 설계를 진행（略）계를 통해 제진 （略）션 시스템의 동특（略） 제어 알고리즘 （略）정밀도를 구현한다（略）체 Back-En（略）을 통한 수입대체（略）/PCB 시장의 （略）생산성 경쟁력을 （略）ont-End 장（略）외 판로 개척 및（略）진입을 촉진한다.