项目来源

韩（略）科（略）

项目主持人

이（略）

项目受资助机构

한（略）스（略）

财政年度

2（略）-（略）3

立项时间

未（略）

项目编号

1（略）1（略）0（略）

项目级别

国（略）

研究期限

未（略） （略）

受资助金额

2（略）0（略）0（略）0（略）

学科

未（略）

学科代码

未（略）

基金类别

소（略）기（略）(（略）)

关键词

未（略）

参与者

未（略）

参与机构

未（略）

项目标书摘要：연구（略）.ESC용 bas（略） 및 제조 공정 （略）Plate 디자인（略）협의-Base P（略）기술 확보 및 검（略）e coating（略）ing layer（略）0SET 제작 1（略）른 Al2O3의 （略） 식각 메커니즘 （略） 확보를 위한 소（略）개발 핵심 부품의（略）신뢰성 확보3.적（略） 환경 모사를 통（略）진행       （略）te 디자인 수요（略）Plate 전체적（略）channel 및（略）se Plate （略）및 coating（略）n voltage（略）ate 최종 디자（略） Plate 제조（略） 검토-Metal（略）보-브레이징 공정（略）late coat（略）스 channel（略）출이 가혹한 환경（略）에 대한 spec（略） 기술 확보-기타（略）부위에 대한 Al（略） 기술 확보-Al（略）Z 등 코팅 물질（略）g막 미세구조 및（略）Coating l（略）ting laye（略）코팅 두께 300（略）Break dow（略）정(최대 절연파괴（略）확보)1)플라즈마（略）O3의 내플라즈마（略）커니즘 규명Al2（略）을 규명하기 위하（略）류에 따른 플라즈（略）O3 표면 변화 （略）함.예를 들어,C（略）또는 CCl4 등（略）공정을 진행한 후（略）플라즈마 기체 간（略）2O3 mater（略） 측정하여 플라즈（略） 규명함.이를 바（略）내플라즈마 특성을（略）Al2O3 공정 （略）터부 신뢰성 확보（略）품 평가-사용 온（略） 검증-사용 조건（略） 분석 및 정전척（略） 분석2)개발 핵（略）를 통한 신뢰성 （略）성 평가를 통한 （略）착 특성 분석3)（略）용 환경 모사를 （略） 진행-시뮬레이션（略）프로세스 구축-개（略）hucking&D（略）반복 시험을 통한（略）       -2（略）ESC 하부 구조（略）te에 대한 제조（略） 확보 예정-Me（略）ase plate（略） 특성 개선을 위（略）행-플라즈마 조건（略） 따른 식각 거동（略）공정 조건이 미치（略） 이론적/실험적 （略）(메탈/세라믹)간（略） 특성에 대한 이（略）적인 특성 확보이（略）plate 제조 （略）특성에 대한 평가（略）을 것으로 기대