반도체 및 LCD 플라즈마 공정용 고주파 전원발생장치 및 임피던스 정합장치
项目来源
韩(略)科(略)
项目主持人
남(略)
项目受资助机构
이(略)텍
项目编号
1(略)0(略)7(略)
立项年度
2(略)
立项时间
未(略)
研究期限
未(略) (略)
项目级别
国(略)
受资助金额
7(略)0(略).(略)元
学科
未(略)
学科代码
未(略)
基金类别
중(略)기(略)개(略)
关键词
未(略)
参与者
未(略)
参与机构
未(略)
项目标书摘要:연구(略)도체 및 LCD (略)마 상태에서 공정(略)비에 반드시 필요(略)장치 및 임피던스(略)로써 외국의 고주(略) 정합장치를 사용(略)D용 생산장비를 (略)쟁력을 향상시키고(略)고출력의 고주파 (略) 정합장치의 개발(略)주파 전원장치 및(略) 생산하는 업체로(略)스이와(주)뉴파워(略)나,이들 회사의 (略)의 저전력용이며,(略)체와 경쟁에서 이(略)에는 아직 이르지(略) 반도체 (略)비중 플라즈마 상(略)야 하는 설비에 (略) 전원 발생장치 (略)를 개발함으로써 (略)및 임피던스 정합(略)체 및 LCD용 (略)내업체의 경쟁력을(略)를 위하여 고출력(略)및 임피던스 정합(略) 필요함.고주파 (略) 정합장치를 생산(略)(주)에이에스이와(略) 있슴.그러나,이(略)은 반도체용의 저(略)및 해외 업체와 (略) 기술 수준에는 (略)있슴 (略)술 향상
- (略)