项目来源

韩国国家科技基金

项目主持人

남종현

项目受资助机构

이큐베스텍

项目编号

1420014273

立项年度

2005

立项时间

未公开

研究期限

未知 / 未知

项目级别

国家级

受资助金额

72000000.00韩元

学科

未公开

学科代码

未公开

基金类别

중소기업기술혁신개발

关键词

未公开

参与者

未公开

参与机构

未公开

项目标书摘要：연구내용
        반도체 및 LCD 생산용 설비중 플라즈마 상태에서 공정을 진행해야 하는 설비에 반드시 필요한 고주파 전원 발생장치 및 임피던스 정합장치를 개발함으로써 외국의 고주파 전원 및 임피던스 정합장치를 사용하여 반도체 및 LCD용 생산장비를 만드는 국내업체의 경쟁력을 향상시키고,수입대체를 위하여 고출력의 고주파 전원장치 및 임피던스 정합장치의 개발은 반드시 필요함.고주파 전원장치 및 임피던스 정합장치를 생산하는 업체로는 국내에(주)에이에스이와(주)뉴파워프라즈마가 있슴.그러나,이들 회사의 기술 수준은 반도체용의 저전력용이며,고전력용 및 해외 업체와 경쟁에서 이길 정도의 기술 수준에는 아직 이르지 못하고 있슴.
        반도체 및 LCD 생산용 설비중 플라즈마 상태에서 공정을 진행해야 하는 설비에 반드시 필요한 고주파 전원 발생장치 및 임피던스 정합장치를 개발함으로써 외국의 고주파 전원 및 임피던스 정합장치를 사용하여 반도체 및 LCD용 생산장비를 만드는 국내업체의 경쟁력을 향상시키고,수입대체를 위하여 고출력의 고주파 전원장치 및 임피던스 정합장치의 개발은 반드시 필요함.고주파 전원장치 및 임피던스 정합장치를 생산하는 업체로는 국내에(주)에이에스이와(주)뉴파워프라즈마가 있슴.그러나,이들 회사의 기술 수준은 반도체용의 저전력용이며,고전력용 및 해외 업체와 경쟁에서 이길 정도의 기술 수준에는 아직 이르지 못하고 있슴
        -국내 플라즈마 기술 향상