项目来源

韩（略）科（略）

项目主持人

전（略）

项目受资助机构

연（略）교（略）학（略）

项目编号

未（略）

财政年度

2（略）,（略）4（略）2（略）

立项时间

未（略）

研究期限

未（略） （略）

项目级别

国（略）

受资助金额

8（略）2（略）0（略）韩（略）

学科

未（略）

学科代码

未（略）

基金类别

소（略）기（略）

关键词

未（略）

参与者

未（略）

参与机构

未（略）

项目标书摘要：연구（略）플라즈마성이 향상（略） 고온에서 사용 （略）개발 개발 목표[（略）대학교)]o 다양（略）믹 소재 개발 o（略）조공법 최적화[공（略）국자동차연구원)]（略）cale-up 시（略）시작품 제작을 위（略）공정 수립[공동연（略）융합에너지연구원)（略）라즈마 공정 중 （略）가 고도화 o 대（略）D용 서셉터 플라（略）가장치 제작 o （略）aser를 이용한（略）클 분석 기술개발（略）((주)엔플로우)（略）성 실리카 소재용（略） o 균일한 4성（略）scale-up （略）관연구개발기관(연（略） 구조의 세라믹 （略） 복합소재 구조의（略） 및 특성 파악-（略）G-Al2O3 조（略） 비교 및 분석-（略）성 선정-다양한 （略）른 성능 비교 및（略） 소재에 최적화된（略）합성방법 개발-다（略）성 비교 및 분석（略）합소재에 최적화된（略） o 세라믹 복합（略）화 진행-개발 소（略） 및 내플라즈마 （略）연구원)-Batc（略）된 제조공법 개발（略）한 생산수율의 최（略） 공법의 대량생산（略）up 파일롯 공정（略）((주)엔플로우)（略）(한국자동차연구원（略） Scale-up（略） 결함/불량 분석（略）온·플라즈마 환경（略）/분석 진행 o （略）DB 기반의 제작（略）조성의 시작품 제（略）원[공동연구개발기（略）지연구원)]o 세（略）공정 중 파티클 （略）화-유체 및 파티（略） 통한 평가장치 （略） 예측-시뮬레이션（略）링 실험 결과와의（略）기술 적용-플라즈（略）상과 파티클 형상（略） 가능성 검토 o（略）ALD용 서셉터 （略） 평가 장치 제작（略） 서셉터 평가품 （略）버 하부 구조 제（略）용 서셉터 평가품（略） 기본 성능 평가（略） 정밀도,누설 전（略）태 등-내플라즈마（略）과 Feed-Ba（略）,설계 반영 o （略）aser를 이용한（略）클 분석 기술 개（略） 또는 시제품 위（略） 측정 기술 개발（略）ED 광이 파티클（略）상을 초고속 카메（略）발기관-2((주)（略）ch-type 구（略）(~30μm)과립（略）검토-희토류계 전（略） 과립화를 위한 （略）선-크기 변화에 （略） 및 관리 범위 （略）소포제,바인더 등（略）화 및 최적 유기（略）-최적 소결 온도（略）로파일(시간 vs（略） 최적 구형 형상（略） 4성분계 세라믹（略）up 제조공정 기（略）개발기술을 바탕으（略） 통한 세라믹 분（略）-첨가제 원료 정（略）공정 개선을 통해（略） 및 입도 개선-（略）류 산화물 분말과（略）한 혼합물을 얻기（略） 분말제조 o 선（略）혼합에 가장 적합（略）성의 세라믹 분말（略）입자 합성기술 고（略） 적용한 모재의 （略）제품 물성 개선연（略） o 희토류를 이（略）발-알루미나,이트（略） 수 있는 희토류（略）들을 이용한 디바（略）접목시 상황별 적（略）여 내구성과 효율（略）동시에 잡을 수 （略）o 합성 및 분석（略）사업화 능력 향상（略）한 신공정 반도체（略）기여하고 첨단산업（略）를 확보하여 산업（略） 국제적 신뢰성 （略）화 과정 및 수요（略）에서 발생되는 문（略）단위에서 수정 및（略）소재 상용화를 위（略）발 및 상용화 범（略）근 가능함.연구개（略）학?기술적 측면]（略）높은 단가로 인한（略）체하는 희토류계 （略） 및 제조공정 기（略） 소재 개발-차세（略） 공정 장비 내부（略） 수 있는 희토류（略） 최적화된 기술 （略）서 고품질,고신뢰（略）복합 원료 분말의（略）표면의 나노 입자（略）통한 고기능성 소（略）내 반도체 장비 （略）디스플레이 식각 （略）라즈마 소재의 경（略）하였으나,본 기술（略）료를 사용하여 국（略）륨을 대신하는 희（略）을 통해 관련 산（略）업과 같은 다양한（略） 기술 경쟁력 확（略）