Hybrid-FT Orbitrap MS를 이용한 반도체 PR 공정용 식각액 조성물의 고순도 고효율 합성

项目来源

韩国国家科技基金

项目主持人

유재성

项目受资助机构

파낙스이엠

立项年度

2008

立项时间

未公开

项目编号

1425050190

项目级别

国家级

研究期限

未知 / 未知

受资助金额

172000000.00韩元

学科

未公开

学科代码

未公开

基金类别

중소기업기술혁신개발

关键词

未公开

参与者

未公开

参与机构

未公开

项目标书摘要:1. 개발 내용 및 범위 1차년도에는 제품의 고순도, 고효율, 저비용의 제품을 개발하기 위하여 기초적이고 원리적인 분야에서부터 응 용분야와 생산시 문제점 등을 면밀히 분석, 개발을 위한 기초설계를 작성하여 사업을 추진한다. 구체적인 사 업의 추진전략은 다음과 같다. 1)개발 대상 제품의 기술과 시장을 면밀히 분석하여 사업성을 검토한다. 2) 개발 방향을 결...

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