Hybrid-FT Orbitrap MS를 이용한 반도체 PR 공정용 식각액 조성물의 고순도 고효율 합성
项目来源
韩国国家科技基金
项目主持人
유재성
项目受资助机构
파낙스이엠
立项年度
2008
立项时间
未公开
项目编号
1425050190
项目级别
国家级
研究期限
未知 / 未知
受资助金额
172000000.00韩元
学科
未公开
学科代码
未公开
基金类别
중소기업기술혁신개발
关键词
未公开
参与者
未公开
参与机构
未公开
项目标书摘要:1. 개발 내용 및 범위 1차년도에는 제품의 고순도, 고효율, 저비용의 제품을 개발하기 위하여 기초적이고 원리적인 분야에서부터 응 용분야와 생산시 문제점 등을 면밀히 분석, 개발을 위한 기초설계를 작성하여 사업을 추진한다. 구체적인 사 업의 추진전략은 다음과 같다. 1)개발 대상 제품의 기술과 시장을 면밀히 분석하여 사업성을 검토한다. 2) 개발 방향을 결...