面板级扇出型封装之高可靠度铜—铜对接技术开发
项目来源
台(略)府(略)金(略)B(略)
项目主持人
王(略)
项目受资助机构
台(略)创(略)份(略)司
项目编号
1(略)C(略)
立项年度
2(略)
立项时间
未(略)
研究期限
未(略) (略)
项目级别
省(略)
受资助金额
5(略).(略)元(略)
学科
材(略);(略)机(略)物(略)
学科代码
未(略)
基金类别
技(略)/(略)理
关键词
扇(略)装(略)铜(略)接(略)
参与者
许(略)林(略)
参与机构
未(略)
项目标书摘要:近年(略)电子封装制程技术日(略)低耗能、高速讯号传(略)跳脱摩尔定律框架的(略)tem in Pa(略)为注目焦点。SiP(略)堆叠的方式,达到2(略)装技术整合异质基板(略)rough-sil(略)V)或是玻璃穿孔((略)ss via,TG(略)接合(Cu-to-(略),达成元件内部垂直(略)幅度的降低讯号传输(略)时的功率损耗。然而(略)接合後容易在接合接(略)脆性的介面金属共化(略)llic comp(略)元件尺寸微型化的诉(略)高阶半导体封装元件(略)缩小,因此在铜—铜(略)铜凸块形成介面金属(略)接面的机械强度、电(略)用时IC 内部或铜(略)温而逐渐使整个铜凸(略)物,因此铜—铜接面(略)可靠度问题也备受考(略)构研究成果,以镓((略)焊料进行铜—铜接合(略)物之高机械强度及高(略)划中,将是针对接合(略)优化,同时将针对接(略))层进行制程开发及(略)Ga 基浆料与Ni(略)特性的影响。最後,(略)靠度测试,探讨铜—(略)配Ga 基浆料、N(略)此,透过此计划,将(略)达成优化,将可达到(略)铜—铜接面。
项目受资助省
台(略)
- (略)