项目来源

韩（略）科（略）

项目主持人

이（略）

项目受资助机构

광（略）교

立项年度

2（略）

立项时间

未（略）

项目编号

1（略）0（略）3（略）

项目级别

国（略）

研究期限

未（略） （略）

受资助金额

3（略）0（略）.（略）元

学科

未（略）

学科代码

未（略）

基金类别

전（略）연（略）사（略）금（略）

关键词

未（略）

参与者

未（略）

参与机构

未（略）

项目标书摘要：연구（略）F S utte （略） 이용한 P(Z （略）(Z 1-xTix（略）.2,0.3,0.（略）박막의 제조 및 （略）세적층형 세라믹스（略）재료 응용가능성의（略）벌크 세라믹스의 （略）을 이용하여 RF（略） method에서（略）을 제작한다.이 （略）PZT 세라믹스의（略）하여 Ta get（略）행하며,적정 열처（略）제조한다.적정열처（略）의 구조적 특성(（略） 상의 생성 등)（略）리온도를 결정한다（略）을 이용하여 RF（略） method로 （略）O3[x=0.1,（略）,0.6,0.7,（略）스 박막을 제조한（略）박막에 대한 구조（略）성,P,Ti,Z,（略）과의 계면)및 유（略）주파수특성)에 대（略）조건을 결정한다.（略）상부 전극은 Pt（略）Metal-Fe （略）etal)-Ca （略）여 유전특성을 조（略）P(Z xTi1-（略）믹스 박막의 최종（略） P(Z xTi1（略）-xTix)O3[（略）.3,0.4]의 （略）층 박막을 제조한（略）ulti-Ta g（略）e ing Sys（略）속적으로 박막을 （略）막의 두께는 10（略）하여 제조하도록 （略）이종층 박막에서 （略）T 박막간의 계면（略）박막의 결정구조,（略） 구조적 특성은 （略）,EPMA 측정을（略）다.Pt를 하부 （略）하여 주파수 및 （略）특성의 변화   （略）의 단일 박막 뿐（略） 대한 기초적인 （略） 대한 특성 조사（略）막 제조 방법의 （略）세라믹스 박막의 （略）다 다양한 세라믹（略）성 조사의 기초적（略） P 고유전율 세（略）하기 위한 재료 （略）통해 보다 나은 （略）발을 위해 활용 （略）P