项目来源

韩（略）研（略）(（略）)

项目主持人

김（略）

项目受资助机构

성（略）학（略）

项目编号

2（略）R（略）A（略）1（略）2（略）

立项年度

2（略）

立项时间

未（略）

研究期限

未（略） （略）

项目级别

国（略）

受资助金额

4（略）0（略）.（略）元

学科

未（略）

学科代码

未（略）

基金类别

이（略）기（略）사（略）초（略）반（略）업（略）후（略）양（略）

关键词

미（略）염（略）;（略）플（略）공（略） （略） （略）질（略）클（略）평（略）준（略）입（略）정（略）

参与者

未（略）

参与机构

未（略）

项目标书摘要：연구（略）제조 공정 중 유（略）를 위한 균일 미（略）도포 공정 연구-（略）분산도 (직경 기（略）deviation（略）MPS (scan（略）ty partic（略）CPC, cond（略）rticle co（略）한 입자 분포 측（略） 균일 도포 (현（略）없음) : 특정 （略） or 2x2 m（略）그 인접 구간 내（略）이를 비교하여 해（略）- Dusty p（略） PBMS 또는 （略）입자의 단분산도 （略）자를 추가로 SM（略）, standar（略） ≤ 1.2를 확（略）: 클린룸 내 유（略）을 위한 측정환경（略）평가- 클린룸 내（略）측정 방법 및 측（略）관련 KS 제정-（略）, 반응시간, 농（略）한 유해성 물질 （略）ase 화 자료 （略）련 국내/국외 j（略）