项目来源

台（略）府（略）金（略）B（略）

项目主持人

庄（略）

项目受资助机构

台（略）尾（略）学（略）材（略）研（略）

立项年度

2（略）

立项时间

未（略）

项目编号

N（略）0（略）6（略）E（略）-（略）-（略）

项目级别

省（略）

研究期限

未（略） （略）

受资助金额

4（略）0（略）台（略）

学科

材（略）；（略）程

学科代码

未（略）

基金类别

应（略）/（略）助

关键词

P（略）D（略）T（略） （略）清（略） （略）子（略）L（略）;

参与者

未（略）

参与机构

未（略）

项目标书摘要：本计（略）沉积糸统成长高品质（略）筒型不钟钢过滤心上（略）有自清洁(self（略）果，并且掺杂金属离（略）Co)或气体原子(（略），使二氧化钛能隙降（略）原反应至可见光波段（略）不锈钢滤心表面均匀（略），将设计与实验出电（略）抽气率与腔内反应气（略）浆反应腔之show（略）让分布管路，经由修（略）、孔洞间隙及气体喷（略）体内均匀分布气体分（略）抽气速率，利用高抽（略）体内有较低的制程压（略）orr),以达到圆（略）0cm、高度25c（略）成长二氧化钛薄膜之（略）掺杂金属离子(Ag（略）气体原子(N2),（略）(400〜500 （略）光对二氧化钛氧化还（略）UV光及可见光(蓝（略）合模组，利用LED（略）以分析二氧化钛之氧（略）LED排列组合达到（略）性，以降低LED模（略）不锈钢过滤心之产品（略）

Applicati（略）: In this（略）igh quali（略）tocatalyt（略）ll be dep（略）ylinder s（略）eel(SUS)f（略）lasma enh（略）cal vapor（略）(PECVD),w（略）ill bear （略）ng effect（略）films wil（略）with meta（略）uch as Ag（略）r gas ato（略）N or C)wi（略）ganic sou（略）es,respec（略）e doped T（略）ill posse（略）rgy gaps （略）r extend)（略）ion spect（略）ocatalyti（略）visible r（略）ore,the s（略）g effects（略）trum and （略）sible ran（略） can be i（略） first pa（略）xperiment（略）o obtain （略）TiO2 film（略）r SUS fil（略）(10cm dia（略）5cm heigh（略）umping sp（略）cal and r（略）ill be em（略）chieve lo（略）10〜100 mt（略）PECVD cha（略） which th（略）(and dist（略）pelines a（略）ing route（略）esigned,t（略） to obtai（略）as distri（略）shower he（略）,injectio（略）distribut（略）-hole siz（略）e injecti（略）s will be（略）uring the（略）s.Therefo（略）form of T（略）nder stai（略） filters （略）eved.In t（略）art,the T（略）ill be do（略）tallic io（略）Ag,Cu,Zr （略）metal org（略）s)or gas （略）C from ga（略）r to incr（略）dox react（略）ange and （略）photocata（略）ption to （略） range(40（略）inally,LE（略）mploying （略） blue LED（略） optimize（略）ll be fab（略）ch should（略）d by chec（略）dox react（略）ncy with （略）the LED a（略）V-blue LE（略）ill be us（略）inate on （略）films to （略）h self-cl（略）ciency.Du（略）timum des（略）ce of LED（略）les will （略）n,then th（略）ning SUS （略）lter with（略）D illumin（略） module w（略） down,too（略）company u（略）ind of se（略） film dep（略）he SUS cy（略）er,their （略）ervice li（略） be exten（略）tering an（略）effects w（略）oved,too.

项目受资助省

台（略）