规则自我排列氧化锌及相关氧化物奈米结构磊晶成长之研究(II)

项目来源

台湾省政府科研基金(GRB)

项目主持人

陈厚光

项目受资助机构

台湾省义守大学材料科学与工程学系

立项年度

2011

立项时间

未公开

项目编号

NSC100-2221-E214-035

项目级别

省级

研究期限

未知 / 未知

受资助金额

863.00千元台币

学科

材料科技

学科代码

未公开

基金类别

基础研究/学术补助

关键词

氧化锌掺杂 ; 磊晶成长 ; 缺陷观察 ; 穿透式电子显微镜 ; XRD ;

参与者

未公开

参与机构

未公开

项目标书摘要:本研究计划主要可以分成两部分,第一部份为规则自我排列氧化锌奈米结构磊晶成长。第二部分为二维周期层状奈米结构氧化物磊晶成长之研究。根据前期计划研究成果,在规则自我排列氧化锌奈米结构方面,本年度计划将进一步透过基板工程及化学气相沈积制程的控制,在a 平面氧化铝基板进行规则自我排列氧化锌奈米结构磊晶成长。透过材料微观分析来研究基板因素及各种制程条件等因素对成长自我排列氧化锌奈米结构之影响。以期能够对於规则自我排列氧化锌奈米柱阵列成长因素及机制能够更清楚掌握。此外本年度计划进一步规划,以水热法将规则自我排列氧化锌奈米柱阵列进行侧向磊晶成长,以期能获得更高品质氧化锌磊晶薄膜。而在二维周期层状奈米结构氧化物磊晶成长方面,将分别尝试以离子溅镀法搭配後制程退火及反应式固相磊晶法在(111)平面YSZ 基板上成长RAO3(MO)m 氧化物磊晶薄膜。由於氧化物特殊奈米尺度多层结构,所以又有自然超晶格之称。在本计划将规划尝试成长不同材料系统RAO3(MO)m(R=In,Yb;A=Ga,Fe;M=Zn,Mg)之磊晶薄膜并探讨不同材料系统之RAO3(MO)m 超晶格结构之光电特性。另外RAO3(MO)m 磊晶薄膜显微结构及缺陷的观察也将会本年度研究计划的重点。

Application Abstract: This project will be conducted to study on epitaxial growth of self-ordered ZnO nanostructures and two-dimensional periodically layered oxides.In this project,epitaxial growth of self-ordered ZnO nanostructures on a-plane sapphire substrate will be carried out by adjusting CVD growth conditions and substrate engineering.In order to clarify the growth mechanism,the effect of process conditions on the epitaxial growth of self-ordered ZnO nanostructures will be investigated by microstructure characterization.Furthermore,the improvement in the ZnO crystal quality will be carried out by the lateral epitaxial overgrowth of self-ordered ZnO nano-rods.For epitaxial growth of two-dimensional periodically layered oxides,epitaxial growth of RAO3(MO)m(R=In,Yb;A=Ga,Fe;M=Zn,Mg)homologous oxides will be carried out by sputtering and reactive solid phase epitaxy technique.Homologous oxides with special nanoscale multi-layered structure may exhibit exceptional properties.Thus,such a structure may be regarded as a so-called“natural superlattice”.The research on the optical and electrical properties of RAO3(MO)m with various compositions will be conducted.The microstructure characterization of epitaxial RAO3(MO)m layers will be performed by TEM and XRD.

项目受资助省

台湾省

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