Permeation Properties of Disordered Metal-Organic Framework Membranes Made by Vapor Phase Deposition and Irradiation Treatments
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学科
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关键词
参与者
参与机构AI
1.大面积原子层沉积技术的全流程开发:从集成电路到光伏
- 关键词:
- 原子层沉积;钙钛矿太阳能电池;虚拟系统;镀膜
- 庄黎伟;Dennis T.Lee;Peter Corkery;Michael Tsapatsis
- 《第四届全国太阳能电池材料与器件大会》
- 2024年
- 中国江苏苏州
- 会议
原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)的自限制反应特征,赋予了ALD技术高度保型、均匀的薄膜沉积能力。ALD广泛应用于光伏领域。然而,实现工业规模的ALD薄膜沉积,依赖于ALD设备的设计和过程的开发。为此,我们开发了基于虚拟ALD阀门、源瓶的供气系统模型、真空腔体流体力学传递过程模型、大面积平面/维纳结构基底的薄膜沉积模型,致力于全流程的ALD过程与装备仿真设计,相关模型已在国内外高校、企业的研究级、工业级ALD机台得到了系统验证。相关ALD技术已应用于存储芯片、钙钛矿太阳能电池、气体分离膜等领域的工艺和装备开发。
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