项目来源

韩（略）科（略）

项目主持人

이（略）

项目受资助机构

명（略）교（略）력（略）

项目编号

1（略）0（略）7（略）

立项年度

2（略）

立项时间

未（略）

项目级别

国（略）

研究期限

未（略） （略）

受资助金额

9（略）0（略）0（略）

学科

未（略）

学科代码

未（略）

基金类别

연（略）공（略）지（略）

关键词

未（略）

参与者

未（略）

参与机构

未（略）

项目标书摘要：현재（略）은 패턴의 크기가（略）기존의 conta（略）ger로는미세패턴（略） 따라서 일반적인（略） stepper를（略）lithograp（略）그리고 칩 제조 （略） 전자현미경을 이（略）칩이 정상적으로 （略）한 분석을 실..（略）