项目来源

韩（略）科（略）

项目主持人

안（略）

项目受资助机构

한（略）기（略）원

立项年度

2（略）

立项时间

未（略）

项目编号

1（略）1（略）5（略）

项目级别

国（略）

研究期限

未（略） （略）

受资助金额

3（略）0（略）.（略）元

学科

未（略）

学科代码

未（略）

基金类别

한（略）기（略）원연구운영비지원(R&D)(주요사업비)

关键词

未（略）

参与者

未（略）

参与机构

未（略）

项目标书摘要：연구（略）Si-CHx로 결（略）oS2 박막의 적（略）lower-lik（略）2 박막 증착공정（略）Size 2000（略）     -Flo（略）구조체 MoS2 （略）정변수 확립:Mo（略）H2S 기체상에서（略）성 메커니즘 연구（略）노구조체 분포도 （略）조체의 형상 제어（略） 표면에서의 Si（略）적화:Si계 무기（略）ecursor 가（略）i계 무기물 박막（略）화학조성비 제어 （略）조 제어를 위한 （略）윤활코팅막 형성을（略）-CHx 적층공정（略）u 증착 안정성 （略）공정 sequen（略）-Si-CHx 경（略）결정 분석을 통한（略）        -（略）체제에 대응할 수（略）화된 Proces（略）마찰 코팅기술에 （略）할 수 있을 것으（略）용중인 분사 및 （略） MoS2 자기윤（略） 물성을 구현하면（略）및 고균일화를 통（略） 넓힐 수 있는 （略）것으로 기대됨.-（略）는 고부가가치 소（略） 관련 기술에 대（略）임으로서 대외경쟁（略）국산화를 통해 국（略）기대할 수 있음.（略） 피스톤,베어링 （略）기계부품(MEMS（略）소형 엑츄에이터,（略） 복잡하거나 미세（略） 저마찰 자기윤활（略）밀하게 제어할 수（略） 적용 가능할 것（略）장성이 용이한 화（略）함으로서 획일화된（略） 수 있으며 대량（略）가능해 고부가가치（略） 공정 단가 감소（略）