项目来源

韩（略）科（略）

项目主持人

안（略）

项目受资助机构

선（略）교

项目编号

1（略）2（略）8（略）

立项年度

2（略）

立项时间

未（略）

研究期限

未（略） （略）

项目级别

国（略）

受资助金额

3（略）3（略）.（略）元

学科

未（略）

学科代码

未（略）

基金类别

개（略）연（略）육（略）R（略）

关键词

未（略）

参与者

未（略）

参与机构

未（略）

项目标书摘要：Mi（略）술은 전자빔 li（略）만 아니라 초소형（略）er inspec（略）플레이용 TFT （略） 장치 분야에 전（略）있어 관련 산업 （略）전 영역에서 중요（略）될 것으로 전망되（略）column에서 （略）중 하나는 전..（略）